Générateur d'oxygène PSA de haute pureté à 99,5 % pour la fabrication de semi-conducteurs Pureté de l'usine d'oxygène PSA

Générateur d'oxygène PSA(Générateur d'oxygène à adsorption modulée en pression) est un équipement propre clé dans l’industrie de fabrication de semi-conducteurs. Basé sur la technologie d'adsorption modulée en pression (PSA) de haute précision, il réalise une purification en profondeur grâce à des tamis moléculaires à double couche (tamis moléculaires ordinaires + tamis moléculaires de haute pureté) pour produire de l'oxygène de haute pureté avec une concentration supérieure à 99,5 %.

Il présente des avantages essentiels tels qu'une pureté stable, une propreté élevée, un fonctionnement fiable et l'absence d'émissions polluantes, qui peuvent répondre aux exigences strictes en matière de pureté et de propreté de l'oxygène dans des processus tels que l'oxydation et le dépôt de couches minces lors de la fabrication de semi-conducteurs. En tant que configuration de niveau supérieur pourPureté des plantes à oxygène psa, les impuretés (azote, humidité, dioxyde de carbone, etc.) présentes dans l'oxygène produit par cet équipement sont toutes contrôlées en dessous du niveau ppm, évitant ainsi une diminution du rendement en copeaux causée par une pureté insuffisante de l'oxygène. Il s'agit d'un équipement d'alimentation en oxygène indispensable pour la fabrication de semi-conducteurs.

La fabrication de semi-conducteurs représente le summum de la fabrication de précision, les processus de puces ayant atteint l'échelle nanométrique (5 nm, 3 nm). Toute petite impureté peut provoquer des courts-circuits sur les puces, une dégradation des performances ou une réduction du rendement. L'oxygène est principalement utilisé dans des processus de base tels que l'oxydation (formant des couches isolantes de SiO₂) et le dépôt chimique en phase vapeur (CVD) dans la fabrication de semi-conducteurs. La pureté de l'oxygène affecte directement l'uniformité de l'épaisseur de la couche d'isolation, l'adhérence du film et les performances électriques des puces.

L'oxygène ordinaire de qualité industrielle (pureté de 93 %) contient des impuretés telles que l'azote et l'humidité qui peuvent former des défauts à la surface des copeaux, entraînant une diminution de 10 à 20 % du rendement ; en revanche, l'oxygène de haute pureté à 99,5 % peut contrôler la teneur en impuretés en dessous du niveau ppm, évitant ainsi efficacement la formation de défauts et garantissant que le rendement en copeaux reste stable au-dessus de 90 %. La technologie d'adsorption par tamis moléculaire à double couche duGénérateur d'oxygène PSApeut éliminer en profondeur les impuretés telles que l'azote, l'humidité et le dioxyde de carbone de l'air. C'estPureté des plantes à oxygène psala précision du contrôle dépasse de loin celle des équipements de génération d'oxygène traditionnels, répondant pleinement aux exigences des processus de fabrication de semi-conducteurs.

De plus, la fabrication de semi-conducteurs impose des exigences extrêmement élevées en matière de propreté de l'oxygène. Le gaz produit doit être conforme à la classification des salles blanches de classe 100 (pas plus de 100 particules ≥0,5 μm par pied cube d'air). LeGénérateur d'oxygène PSAest équipé d'un système de filtration de gaz à haute efficacité qui peut filtrer les minuscules particules d'oxygène, évitant ainsi la contamination des particules à la surface des copeaux et garantissant ainsi la qualité des copeaux.

Lors de l'achatGénérateur d'oxygène PSA, les entreprises de semi-conducteurs doivent adhérer à quatre principes fondamentaux : « pureté qualifiée, compatibilité avec les salles blanches, stabilité et fiabilité, et qualifications complètes des fournisseurs ».

• En termes de pureté, il est impératif de sélectionner des équipements avec une pureté d'oxygène ≥ 99,5 % et une teneur en impuretés répondant aux exigences du processus des semi-conducteurs, et d'exiger des fournisseurs qu'ils fournissent des rapports de tests tiers (tels que SGS, ITS)
• En termes de compatibilité avec les salles blanches, il est nécessaire de confirmer que la propreté des gaz de sortie de l'équipement est ≥Classe 100 et que le boîtier de l'équipement répond aux exigences d'installation en salle blanche.
• En termes de stabilité et de fiabilité, la priorité doit être donnée aux produits avec une durée de fonctionnement continu ≥ 8 000 heures/an et une garantie pour les composants principaux ≥ 3 ans.
• Les qualifications des fournisseurs sont cruciales. Il est nécessaire de sélectionner des entreprises ayantUsine d'oxygène à base de PSAqualifications de production, certification du système de gestion de la qualité ISO9001 et certifications pertinentes de l'industrie des semi-conducteurs (telles que la certification SEMI), et les oblige à fournir des cas de réussite dans l'industrie des semi-conducteurs

Le service après-vente doit répondre aux exigences élevées de l’industrie des semi-conducteurs. Les fournisseurs doivent être en mesure de fournir une assistance technique 24h/24 et 7j/7, une maintenance régulière sur site et un approvisionnement rapide en pièces de rechange pour garantir un fonctionnement stable à long terme de l'équipement.

Avec son avantage de haute pureté de 99,5 %, leGénérateur d'oxygène PSAest devenu une référence en matière d’approvisionnement en oxygène propre dans la fabrication de semi-conducteurs. Son contrôle précis de la pureté, sa production de gaz propre et ses performances de fonctionnement stables peuvent fournir un support fiable d'approvisionnement en oxygène pour les processus de semi-conducteurs, ce qui en fait un équipement clé pour les entreprises de fabrication de puces afin d'améliorer le rendement et de réduire les coûts.